特許
J-GLOBAL ID：200903099534100851
回転式基板処理装置および回転式基板処理装置用カップ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-107670
公開番号（公開出願番号）：特開平10-296162
出願日： 1997年04月24日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：
【要約】【課題】 ミストを含む空気流からミストを分離することが容易な回転式基板処理装置用カップおよびそれを備えた回転式基板処理装置を提供する。【解決手段】 基板保持部3の周囲を取り囲むカップ10は分離可能な上カップ11および下カップ13からなる。下カップ11の底面外周部には溶剤貯留部14が形成される。基板保持部3の下面には円錐状の傾斜面22aを有する整流板22が配置される。整流板22の下方内側には排気口20が複数箇所配置されている。溶剤貯留部14に隣接する排液管18は溶剤貯留部14から溢れた溶剤を排出する。上方から供給された空気流5は整流板22と下カップ13の側壁部13aとの間のオリフィス流路17を通り溶剤貯留部14に下降する。空気流中のミストは溶剤に捕獲され、ミストが分離された空気流は排気口20に導かれ、排気管21から外方へ排出される。
請求項（抜粋）：
基板を保持して回転駆動される基板保持部と、前記基板保持部の側方を取り囲む側面および前記基板保持部の下方を取り囲む底面を有する中空のカップと、前記基板保持部と前記カップの前記底面との間に配置され、前記基板保持部の中心側から外方側に向かって下方に傾斜した傾斜面を有する整流部材とを備え、前記整流部材と前記カップの前記側面との隙間の下方部分における前記カップの前記底面に、液体を貯留する液体貯留部を備えたことを特徴とする回転式基板処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B05C 11/08
, H01L 21/30 564 C
