特許

J-GLOBAL ID：200903099541044983

固体撮像素子

発明者： 佐藤 敏浩
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-154402
公開番号（公開出願番号）：特開平5-003313
出願日： 1991年06月26日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：

【要約】【目的】 電荷転送路の近傍にて発生するスミア電流の減少を図る。また、感度の向上を図る。さらに、加工された表面の平坦化を図る。【構成】 P-N接合部に電荷を蓄える受光素子と、この受光素子に蓄えられた電荷を転送する電荷転送路と、透明絶縁膜を介し前記受光素子を露呈させて形成された遮光膜とを備える固体撮像素子において、前記受光素子の形成領域は前記遮光膜側に近接するように前記電荷転送路形成領域との間に段差を設ける。

請求項（抜粋）：

P-N接合部に電荷を蓄える受光素子と、この受光素子に蓄えられた電荷を転送する電荷転送路と、透明絶縁膜を介し前記受光素子を露呈させて形成された遮光膜とを備える固体撮像素子において、前記受光素子の形成領域は前記遮光膜側に近接するように前記電荷転送路形成領域との間に段差を設けてなることを特徴とする固体撮像素子。