特許

J-GLOBAL ID：200903099548935336

球状金属粒子の製造方法

発明者： 加藤 豊
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-107481
公開番号（公開出願番号）：特開平10-298615
出願日： 1997年04月24日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：

【要約】【課題】 従来10ミクロン〜1mmのバンプ用球状金属粒子を経済性よく得るに十分な方法は未だ提供されているとは言えない。本発明は経済性よく微細な球状金属粒子を得る方法の提供を課題とする。【解決手段】 例えば一定の厚さに圧延加工されたテープ状の金属箔を金型で打ち抜いて得たり、定寸に切断して得たり、あるいは、直径0.1mm以下の金属極細線を定寸切断して得た金属切片を酸水素炎中に通過させるものであり、金属切片を酸水素炎中で溶融し、酸水素炎通過後に冷却・固化して直径10ミクロン〜1mmの球状粒子を得るものである。酸水素炎を発生させるバーナーは単純な二重管構造でよく、内側の管から酸素と金属切片とを供給し、外側の管より水素を供給し、バーナー先端部で酸水素炎を形成する。そして、酸素及び水素の供給圧力は大気圧よりやや高い程度とし、供給量も酸水素炎が安定して燃え続けられる最低限でよい。

請求項（抜粋）：

直径10ミクロン〜1mmのバンプ用球状金属粒子を得るに際し、一定体積に切断した金属切片を酸水素炎中を通過させ、切片を酸水素炎中で溶融し、酸水素炎通過後に冷却・固化させることを特徴とする球状金属粒子の製造方法。

IPC (2件)：

B22F 9/08 ,  H01L 21/60 311

FI (2件)：

B22F 9/08 Z ,  H01L 21/60 311 S