特許
J-GLOBAL ID：200903099551174516
硬質カーボン膜の構造
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-141931
公開番号（公開出願番号）：特開平5-311444
出願日： 1992年05月08日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：
【要約】【目的】ステンレス鋼、軟鉄鋼系材料、銅合金材料などからなる軟質基材表面に、基材硬度の影響を受けずに密着性良く硬質カ-ボン膜を被覆するための膜構造を得るため。【構成】軟質基材であるステンレス鋼基材1の表面に被覆した硬質化合物膜である窒化チタン層2と、該層の表面に被覆したシリコン膜のシリコン層3と、該層の表面に、炭化水素を含むガス雰囲気中で被覆した硬質カ-ボン膜の硬質カ-ボン層4とからなる。【効果】ステンレス鋼、軟鉄鋼系材料、銅合金材料などからなる軟質基材表面に対する硬質カ-ボン膜の耐スクラッチ性、密着性が飛躍的に向上し、これらが要求される機械部品などに施される膜の構造として格別の効果がある。
請求項（抜粋）：
ステンレス鋼、軟鉄鋼系材料、銅合金材料などからなる軟質基材表面に被覆した周期律表第IVa,Va,VIa族に属する金属の炭化物、窒化物あるいは窒炭化物からなる硬質化合物膜の層と、該硬質化合物膜の層の表面に被覆したシリコン膜またはゲルマニウム膜からなる層と、該シリコン膜またはゲルマニウム膜からなる層の表面に、炭化水素を含むガス雰囲気中で被覆した硬質カ-ボン膜の層とからなることを特徴とする硬質カ-ボン膜の構造。
IPC (3件)：
C23C 16/26
, C01B 31/02 101
, C23C 28/00
