特許
J-GLOBAL ID：200903099551882871
アルゴン精製方法及び装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-228106
公開番号（公開出願番号）：特開平9-072656
出願日： 1995年09月05日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：
【要約】【課題】 簡便な工程でエネルギー消費の少ないアルゴン回収精製法を提供する。【解決手段】 不純アルゴンガスを水素ガス(H2 )と反応させて、該不純アルゴンガスに含まれる酸素(O2 )を水(H2 O)へと転換し、該不純アルゴンガスから酸素(O2 )を実質的に除去する第1のステップと、該不純アルゴンガスを吸着手段に導入し、吸着手段が該不純アルゴンガスに含有されている水(H2O)と二酸化炭素(CO2 )とを吸着して、該不純アルゴンガスから水(H2 O)と二酸化炭素(CO2 )とを実質的に除去する第2のステップと、該不純アルゴンガスを低温液化して精留手段に導入し、精留手段が精製分離により該不純アルゴンガスに含有される低沸点不純分と高沸点不純分とを除去して、実質的にアルゴンから成る純アルゴンガスを得る第3のステップとを有する。
請求項（抜粋）：
シリコン炉から排出され、酸素、窒素等のアルゴンよりも沸点の低い低沸点不純分と、炭化水素等のアルゴンよりも沸点の高い高沸点不純分とを不純物として含有する不純アルゴンガスを精製して、実質的にアルゴンから成る純アルゴンガスを得て、該純アルゴンガスをシリコン炉へと再び供給するアルゴン回収精製方法において、該不純アルゴンガスに水素を添加し、該不純アルゴンガスに含まれる酸素と反応させて水へと転換し、該不純アルゴンガスから酸素を実施的に除去する第1のステップと、該不純アルゴンガスを吸着手段に導入し、前記吸着手段が該不純アルゴンガスに含有されている水と二酸化炭素とを吸着して、該不純アルゴンガスから水と二酸化炭素とを実質的に除去する第2のステップと、該不純アルゴンガスを低温液化して精留手段に導入し、前記精留手段が精製分離により該不純アルゴンガスに含有される該低沸点不純分と該高沸点不純分とを除去して、実質的にアルゴンから成る純アルゴンガスを得る第3のステップと、を有することを特徴とするアルゴン回収精製方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
