特許

J-GLOBAL ID：200903099552326379

フォトリフレクタンスマッピング測定法

発明者： 杉山 弘樹 ,  和田 一実 ,  横山 春喜
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 高山 敏夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-227466
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051856
出願日： 1997年08月07日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】 プローブ光の反射率による反射強度だけではなく、フォトルミネッセンス信号強度IPLと励起光の試料表面での励起散乱光強度IS も光検知器に取り込まれるので、測定精度が芳しくなかった。【解決手段】 全信号強度分布データ1はI(x,y,λ)、PL+励起散乱光強度分布データ2はIPL+S(x,y)、励起光off時のプローブ光反射強度分布データ3はR(x,y,λ)、PR信号強度分布データ4は、IPR(x,y、λ)と表わす。また、PR信号強度IPRは、波長λ、及び試料上の測定位置(x,y)の関数となり、IPR(x,y、λ)={I(x,y,λ)-IPL+S(x,y)}/IpR(x,y,λ)であり、各点での信号強度について、上式の計算を計算機上で行うことにより、真のPR信号強度分布を得ることが可能となる。

請求項（抜粋）：

励起光とプローブ光の2つのビームを照射し、励起光のon/offによるプローブ光の反射率の変化から半導体結晶ウエハ上の電気的、光学的特性の分布を測定するフォトリフレクタンスマッピング測定法において、全信号強度分布データ(I(x,y,λ))からフォトルミネッセンス信号強度分布データ(IPL(x,y))および励起散乱光強度分布データ(IS (x,y))を差し引くことにより、フォトリフレクタンス信号のみを抽出し、フォトリフレクタンス信号強度分布データ(IPR(x,y、λ))を測定することを特徴とするフォトリフレクタンスマッピング測定法。

IPC (5件)：

G01N 21/27 ,  G01B 11/06 ,  G01N 21/00 ,  G01N 21/64 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

G01N 21/27 A ,  G01B 11/06 Z ,  G01N 21/00 B ,  G01N 21/64 Z ,  H01L 21/66 A ,  H01L 21/66 L

引用特許：

審査官引用 (3件)

• フォトリフレクタンス測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-185416   出願人：株式会社島津製作所
• 特開平4-215041
  
• 特開平4-215041