特許
J-GLOBAL ID：200903099555785587
研磨終点検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-106566
公開番号（公開出願番号）：特開平6-315850
出願日： 1993年05月07日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、被研磨物が研磨終点に達したことを研磨中に回転軸のトルクから間接的に検知し、これにより研磨を終了することで研磨の再現性の向上に寄与することが可能な研磨終点検出装置を提供する。【構成】 下地材料上に付着した該下地材料とは異なる付着材料を研磨除去する研磨装置において、研磨定盤を駆動する第1の回転軸および被研磨物を回転させる第2の回転軸の少なくとも一方のトルクを計測する計測機構と、前記計測機構によって計測されたトルクおよび該トルクの時間微分値の少なくとも一方が予め与えられた設定値に以上に変化したことを判定して研磨停止信号を出力する判定手段とを具備することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
下地材料上に付着した該下地材料とは異なる付着材料を研磨除去する研磨装置において、研磨定盤を駆動する第1の回転軸および被研磨物を回転させる第2の回転軸の少なくとも一方のトルクを計測する計測機構と、前記計測機構によって計測されたトルクおよび該トルクの時間微分値の少なくとも一方が予め与えられた設定値に以上に変化したことを判定して研磨停止信号を出力する判定手段とを具備することを特徴とする研磨終点検出装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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