特許

J-GLOBAL ID：200903099557180003

窒化珪素質焼結体及びその製造方法

発明者： 原 康 ,  板倉 一久 ,  水野 賢一
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 足立 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-182372
公開番号（公開出願番号）：特開平10-025163
出願日： 1996年07月11日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：

【要約】【課題】 優れた機械的特性を損なうことなく低温酸化を防止する、メリライト相を有する窒化珪素質焼結体、及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 窒化珪素粉末にY2O3、AlN及びAl2O3を所定の組成となるように添加して湿式混合し、この混合物を直方体状成形体に成形し、CIPを行った。その後、成形体を焼成炉にて窒素雰囲気下で1700°C、 4時間の焼成を行い、メリライト相を有する窒化珪素質焼結体基材を得た。この基材を加工研磨して得た試験片につき、大気中にて1100〜1300°C、 1〜10時間の熱処理を行った。そして、熱処理後の試験片を低温酸化温度域 900〜1000°Cにて大気中での 100時間の酸化試験を行い、酸化増量及び酸化前に対する酸化後の強度比を求めた。その結果、上記条件下で熱処理した後の試験片が、優れた機械的特性を損なうことなく低温酸化を防止できることを確認した。

請求項（抜粋）：

メリライト相(Re2O3・Si3N4、Reは希土類元素)を含む窒化珪素質焼結体において、膜厚1〜5μmのSiO2 含有酸化層が焼結体表面に存在することを特徴とする窒化珪素質焼結体。

IPC (2件)：

C04B 35/584 ,  C04B 35/64

FI (3件)：

C04B 35/58 102 C ,  C04B 35/58 102 X ,  C04B 35/64 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-292465
  
• 特開昭62-197356
  
• 特開昭61-191582