特許

J-GLOBAL ID：200903099559667384

基板処理装置

発明者： 坂井 高正 ,  寺嶋 幸三
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-063482
公開番号（公開出願番号）：特開平6-252118
出願日： 1993年02月25日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】 簡単な構造により安価でメンテナンスが容易な超音波処理装置を備えた基板処理装置を提供する。【構成】 一対の固定枠11、12によってフレキシブルシート13を挟持し気密状態に固定して保持カバー10を形成し、固定枠11の上面を処理槽1の底面1a(振動面)に密着させ、真空排気口13aを介して真空ポンプ18により保持カバー10内を減圧する。フレキシブルシート13が変形して圧電素子6の背面に密着するようにして、当該圧電素子6を処理槽1の底面(振動面)に均一な押圧力で押し付ける。

請求項（抜粋）：

基板を処理槽に貯溜した処理液に浸漬して表面処理を行なう基板処理装置において、超音波振動子と、前記超音波振動子を収納する収納部を有し、前記処理槽の振動面に密着する保持カバーと、前記保持カバーに連結され、当該保持カバー内部の気体を排気する真空排気装置と、前記超音波振動子を作動させる超音波発振器と、を備え、前記保持カバーの収納部を形成する壁面の少なくとも一部は可動に形成され、前記保持カバーを前記振動面に密着させた状態で前記真空排気装置により保持カバー内部の気体を排気することにより、前記可動壁面が移動して前記超音波振動子を前記処理槽の振動面に押圧固定するようにしたことを特徴とする基板処理装置。