特許
J-GLOBAL ID：200903099560328755
ロードロックバルブの開閉機構
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-182111
公開番号（公開出願番号）：特開平8-042717
出願日： 1994年08月03日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】 シリンダの負荷が急変することがなく、シリンダの動きがスムーズになり、振動が小さく速度も急変せず、パーティクルの発生を抑制し、耐久性も向上させると共に弁体の精度に関係なく均一な押付け力を取得し、漏れがなく気密を保ち、必要なシール圧を得る。【構成】 作動されるボール保持板7に保持されたボール4が接する少なくとも片側のボール受3の全部分を斜面9Aとすることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
作動されるボール保持板に保持されたボールが接する少なくとも片側のボール受の全部分を斜面とすることを特徴とするロードロックバルブの開閉機構。
IPC (3件)：
F16K 3/18
, F16K 3/314
, H01L 21/02
