研磨ヘッド及びそれを用いた研磨装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-140287
公開番号（公開出願番号）：特開平11-333712
出願日： 1998年05月21日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：

【要約】【目的】リテーナリングと研磨パッドの接触による発熱を抑えるリテーナリングを有する研磨ヘッド及びそれを用いた研磨装置を提供する。さらに、研磨剤をウエハ研磨面に効率よく供給し、かつ研磨により発生する研磨クズを効率良く排出するリテーナリングを有する研磨ヘッド及びそれを用いた研磨装置を提供する。【解決手段】研磨対象物を保持し、該研磨対象物を研磨部材に加圧する、該研磨研磨対象物の飛び出し防止用のリテーナリングが設けられた研磨ヘッドにおいて、前記リテーナリングの前記研磨部材との接触面に溝構造を設けたことを特徴とする研磨ヘッド。

請求項（抜粋）：

研磨対象物を保持し、該研磨対象物を研磨部材に加圧する、該研磨研磨対象物の飛び出し防止用のリテーナリングが設けられた研磨ヘッドにおいて、前記リテーナリングの前記研磨部材との接触面に溝構造を設けたことを特徴とする研磨ヘッド。

IPC (2件)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 E , H01L 21/304 622 G

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