薄膜式ガスセンサ及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萼経夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-103729
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327592
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【目的】薄膜式ガスセンサ及びその製造方法を提供する。【構成】多孔質セラミック基板(アルミナ基板8)上に、多孔質電極層(陽極10)、プロトン伝導性固体電解質蒸着層(プロトン伝導性薄膜11)、多孔質電極層(陰極12)が順次積層され、所望により加熱部(白金ヒータ9)や白金リード線13が設けられて構成されたセンサ素子を備えてなる薄膜式ガスセンサ、並びに蒸着法により前記多孔質電極層及び前記プロトン伝導性固体電解質蒸着層を形成してなる、その製造方法。【効果】本センサは電解質の抵抗が非常に小さく、測定精度及び再現性に優れ、信頼性が高く、構造が簡単で容易に得ることができ、且つ著しく小形化可能である。

請求項（抜粋）：

多孔質セラミック基板上に、多孔質電極層、プロトン伝導性固体電解質蒸着層、多孔質電極層が順次積層されて構成されたセンサ素子を備えてなることを特徴とする薄膜式ガスセンサ。

IPC (2件)：

G01N 27/416 , G01N 27/406

FI (2件)：

G01N 27/46 311 H , G01N 27/58 Z

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭62-144063
特開昭63-172952
特開昭63-094145

全件表示

審査官引用 (8件)

特開昭62-144063
特開昭62-144063
特開昭63-172952

全件表示

前のページに戻る