感光性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-300689
公開番号（公開出願番号）：特開平5-134407
出願日： 1991年11月15日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】 (A)式(1)で示されるポリアミド酸エステル、(B)光退色性を有するジアゾニウム塩を必須成分とする感光性樹脂組成物。【化1】パターン加工性、特に厚膜におけるパターン加工性に優れた感光性ポリイミド樹脂組成物に関するものである。【効果】感光性樹脂フィルムの深部まで容易に均一に光反応を進行させることが可能となったため、感度、解像度、パターン形状等が向上し、厚膜におけるパターン加工性が大幅に改善された。

請求項（抜粋）：

(A)式(1)で示されるポリアミド酸エステル、(B)光退色性を有するジアゾニウム塩を必須成分とする感光性樹脂組成物。【化1】

IPC (9件)：

G03F 7/027 514 , C08L 79/08 LRB , G03F 7/016 , G03F 7/029 , G03F 7/038 504 , H01L 21/027 , H01L 21/312 , H01L 23/29 , H01L 23/31

FI (2件)：

H01L 21/30 301 R , H01L 23/30 D

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭64-009446
特開平3-216659
特開昭63-106743

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