特許

J-GLOBAL ID：200903099583959485

微細形状検出センサ装置

発明者： 森村 浩季 ,  重松 智志 ,  町田 克之 ,  久良木 億 ,  島村 俊重
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-146059
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340516
出願日： 2001年05月16日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】 製造コストを増大させることなくセンサ回路の特性に対する高い調整精度を得る。【解決手段】 検出対象の微細形状に応じて変化する電気量を検出素子1で検出し、その電気量に応じた信号をセンサ回路2から出力するセンサセル11を2次元に配列して微細形状の凹凸を感知する微細形状検出センサ装置において、各センサセルのセンサ回路2ごとに、そのセンサ回路2の検出感度を調整するオフセット回路8を設け、オフセット制御信号8Aに基づき各センサ回路2で一律に検出感度を調整する。

請求項（抜粋）：

検出対象の微細形状に応じて変化する電気量を検出する検出素子と、この検出素子で検出された電気量を計測しその電気量に応じた出力信号へ変換して出力するセンサ回路とを有する複数のセンサセルを有し、2次元に配列されたこれらセンサセルの出力に基づき前記微細形状の凹凸を感知する微細形状検出センサ装置であって、前記センサセルのセンサ回路ごとに設けられ、そのセンサ回路の検出感度を各センサ回路で一律に調整するオフセット回路を備えることを特徴とする微細形状検出センサ装置。

IPC (4件)：

G01B 7/34 ,  A61B 5/117 ,  G01B 7/28 ,  G06T 1/00 400

FI (4件)：

G01B 7/34 Z ,  G01B 7/28 Z ,  G06T 1/00 400 G ,  A61B 5/10 322

Fターム (13件)：

2F063AA43 ,  2F063BA29 ,  2F063DA02 ,  2F063DA05 ,  2F063DD07 ,  2F063HA04 ,  4C038FF00 ,  4C038FG00 ,  4C038VB13 ,  5B047AA25 ,  5B047AB02 ,  5B047BB04 ,  5B047DA01