特許
J-GLOBAL ID：200903099584751110
ワイヤーソーによるワークの切断方法及び切断装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
山下 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-023403
公開番号（公開出願番号）：特開平5-185419
出願日： 1992年01月14日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：
【要約】[目的] うねりが小さく厚さの均一なウエーハを常に安定して得ることができるワイヤーソーによるワークの切断方法及び切断装置を提供すること。[構成] ワイヤーソーによるワークWの切断において、ローラ2の軸方向変位を検出し、この検出値に基づいてスラリーの供給温度を制御する。スラリーの供給温度とローラ2の軸方向変位との間には一定の相関があり、従って、本発明のようにローラ2の軸方向変位を検出し、この検出値に基づいてスラリーの供給温度を制御すれば、ローラ2(3,4)の軸方向変位を一定に保つことができる。この結果、一度に多数枚のウエーハを切り出しても、摩擦熱の影響を受けることなく、ローラ2,3,4間に巻回されたワイヤー5のピッチ(ウエーハの切り出し厚さ)を一定に保つことができ、ワークWから厚さが一定でうねりの小さな多数枚のウエーハを一度に安定して切り出すことができる。
請求項（抜粋）：
複数のローラ間に螺旋状に巻回されたワイヤーにワークを押圧し、該ワークとワイヤーとの接触部にスラリーを供給しながらワイヤーを移動させることによって、ワークをウエーハ状に切断する切断方法において、前記ローラの軸方向変位を検出し、この検出値に基づいて前記スラリーの供給温度を制御するようにしたことを特徴とするワイヤーソーによるワークの切断方法。
IPC (4件)：
B28D 1/22
, B24B 27/06
, B24B 49/14
, H01L 21/304 311
