特許
J-GLOBAL ID：200903099587428050
空間光変調器および投写型表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-011561
公開番号（公開出願番号）：特開平11-212002
出願日： 1998年01月23日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】 変形可能なミラー要素を支持する構造による光の遮蔽、散乱がない変形可能ミラーデバイスを備えた空間光変調器を提供する。【解決手段】 Si基板112上に透明絶縁膜109、共通電極膜108、圧電膜107および画素電極膜106を積層して2次元アレイ状のミラー要素を形成する。その後、Si基板をエッチングして基板除去部113を形成してミラー要素を変形可能とする。ガラス基板101上に形成された薄膜トランジスタ102に、バンプ105を介してミラー要素を接続する。照明光は、ガラス基板101を通してミラー要素に照射される。
請求項（抜粋）：
圧電薄膜と該圧電薄膜を挟持する電極薄膜とから成り、前記圧電薄膜に電圧を印加することによって曲面状に変形可能なミラー要素の配列と、透明基板から成る能動素子基板上に形成された能動素子の配列と、前記ミラー要素の各々に対応して前記能動素子の各々を電気的に接続する構造とを備えた空間光変調器において、照明光を前記能動素子基板を通して前記ミラー要素に照射させることを特徴とする空間光変調器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 26/08 J
, H04N 5/74 B
