エッチング方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田治米登 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-027628
公開番号（公開出願番号）：特開平6-224346
出願日： 1993年01月23日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】複数の異なる金属層を有する被エッチング材料、特に、鉄系材料をアルミニウム系材料でサンドイッチした3層クラッド材料を、高いエッチングファクターで且つファインピッチでエッチングできるようにする。【構成】第1の金属層1及び第2の金属層2が積層された被エッチング材料の第1の金属層上に、所望の形にパターニングしたレジスト層3を形成し、その後に第1の金属層1をエッチングし、次に、第1の金属層のエッチング面に陽極酸化膜1aを形成し、その後、第2の金属層2をエッチングする。

請求項（抜粋）：

第1の金属層及び第2の金属層が積層された被エッチング材料の第1の金属層上に、所望の形にパターニングしたレジスト層を形成し、その後に第1の金属層をエッチングし、次に、第1の金属層のエッチング面に陽極酸化により酸化膜を形成し、その後に第2の金属層を選択的にエッチングすることを特徴とするエッチング方法。

IPC (6件)：

H01L 23/50 , C23F 1/18 , C23F 1/20 , C23F 1/28 , C23F 1/36 , C23F 1/44

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