特許
J-GLOBAL ID：200903099605758446
板状体の研削方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-105440
公開番号（公開出願番号）：特開平9-290357
出願日： 1996年04月25日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】【課題】ガラス板16の平坦度精度を向上させることができる。【解決手段】カップ型砥石12の傾きをレーザ変位計32、32...で直接検出し、レーザ変位計32、32...で得られた検出情報に基づいてカップ型砥石12の傾きをピエゾ素子24、24...によって修正させながらガラス板16を研削する。
請求項（抜粋）：
砥石と板状体とを相対的に押し付けると共に、該砥石と板状体とを相対的に移動させて板状体を研削する板状体の研削方法に於いて、前記砥石の傾きを非接触検出手段で直接検出し、該非接触検出手段で得られた検出情報に基づいて砥石の傾きを修正しながら板状体を研削することを特徴とする板状体の研削方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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