特許
J-GLOBAL ID：200903099606357461
プローブカード
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-273339
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130800
出願日： 1993年11月01日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】ウェハ検査において、プローブカードの探針が探針固定用リング内で探針円周方向の回転による探針先端の位置ずれを防ぐ。【構成】プローブカードの探針固定用リング3に埋め込まれている探針2の部分に、円形である探針の中心軸に平行で且つ表面に垂直である様にスタビライザ6を、この探針2に固着する。これにより、探針2が探針固定用リング3内部で円周方向に回転してしまう際にスタビライザ6が抗力を発生して回転を防ぎ、探針2の先端の変位を防ぐ。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハ上のパッドに先端を当接する探針と、開孔部のあるカード基板と、前記開孔部の周端部に設けたリングとを備え、前記探針の後端を前記リング内に挿入固定したプローブカードにおいて、前記探針の回転変位を防止する手段が設けられていることを特徴とするプローブカード。
IPC (2件)：
引用特許：
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