特許

J-GLOBAL ID：200903099611755270

透明電極

発明者： 寳地戸 雄幸 ,  田中 耕一 ,  土嶺 信男
出願人/特許権者： 株式会社高純度化学研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-197533
公開番号（公開出願番号）：特開平5-043273
出願日： 1991年05月07日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：

【要約】【目的】 電気抵抗率が極めて低く、光透過率が極めて高く、しかも、フォトリソグラフィによるエッチング特性が損なわれない新規な透明電極膜および透明電極膜用材料を提供することを目的とする。【構成】 酸化インジウムを主成分とし、酸化スズ1〜20重量%、酸化亜鉛0.05〜5重量%を含む透明電極膜。酸化スズ粉末を1〜20重量%、酸化亜鉛粉末を0.05〜5重量%含む酸化インジウム粉末を焼結した透明電極蒸着用焼結体あるいはこの焼結体を粉砕した透明電極用粉体あるいはインジウム60〜98.9重量%、スズ1〜20重量%、亜鉛0.1〜20重量%を含む透明電極蒸着用合金等の、上記透明電極膜を製造するための材料。

請求項（抜粋）：

酸化インジウムを主成分とし、酸化スズ1〜20重量%、酸化亜鉛0.05〜5重量%を含むことを特徴とする透明電極膜。

IPC (9件)：

C03C 17/245 ,  C01G 19/00 ,  C03C 17/09 ,  C04B 35/00 ,  C22C 28/00 ,  C22C 29/12 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 339 ,  H05B 3/03