特許
J-GLOBAL ID：200903099615450385
ウエハ移載装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-087360
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291376
出願日： 1992年04月08日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】本発明は、移載ロボットのペンシルをボ-トまたはウエハカセットの棚間隔の中間位置に調整することができるウエハ移載装置を提供することを目的とする。【構成】ウエハを棚に収納可能なウエハカセット23、ウエハを棚に収納可能なボ-ト17、上記ウエハを吸着するペンシル20の一端をア-ム19Aで片持ち支持する移載ロボット19を備え、この移載ロボット19が上記ウエハカセット23の棚から上記ボ-ト17の棚へまたはその逆に上記ウエハを移載するウエハ移載装置において、上記ボ-ト17側とウエハカセット23側に上記棚列方向に溝を有するダミ-30、31を設け、上記ア-ム19Aには、上記ダミ-30、31の溝位置を検出する検知センサ44を駆動する駆動機構41とこの駆動機構41の移動を制御する制御装置46を収納するとともに上記ペンシル20を片持ち支持する枠体40を有することを特徴をする。
請求項（抜粋）：
所定枚数のウエハを一定間隔を隔てて段々に収納可能であって所定位置にあるステ-ジに対して搬入・搬出されるウエハカセットと、一定枚数のウエハを一定間隔を隔てて段々に収納可能であって所定位置から表面処理炉内へまたはその逆に移送されるボ-トと、上記ウエハを吸着可能なペンシルの一端側をア-ム端部で片持ち支持する移載ロボットを備え、この移載ロボットが上記ウエハカセットの棚から上記ボ-トの棚へまたはその逆に上記ウエハを移載するウエハ移載装置において、上記ボ-ト側とウエハカセット側にそれぞれ上記棚列方向の段々に溝を有するダミ-を設け、上記ア-ム端部には、上記ダミ-の溝位置を検出する検知センサを駆動する駆動機構とこの駆動機構の移動を制御する制御装置を収納するとともに上記ペンシルを片持ち支持する枠体を有することを特徴とするウエハ移載装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, B25J 9/12
, B25J 15/08
, B25J 18/00
, H01L 21/22
