特許

J-GLOBAL ID：200903099617978883

均熱装置

発明者： 山蔭 久明 ,  宮崎 真二 ,  好永 功夫 ,  津曲 一幸
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-136942
公開番号（公開出願番号）：特開平10-326667
出願日： 1997年05月27日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】【課題】 定盤の外周側の表面温度が中央側と比べて低下し、定盤表面の均熱性を十分に得ることができない。【解決手段】 内部に流通路9が複数形成された定盤1と、定盤1に形成された流通路9を覆うように定盤1に接合された板状部材3と、流通路9内に所定量封入された作動液5とを備え、流通路9の配置密度を定盤1の中央側1aより外周側1bの方を密度大とした構成である。

請求項（抜粋）：

内部に流通路が複数形成された定盤と、上記定盤に形成された上記流通路を覆うように上記定盤に接合された板状部材と、上記流通路内に所定量封入された作動液とを有する均熱装置において、上記流通路の配置密度を中央側より外周側の方を密度大としたことを特徴とする均熱装置。