特許
J-GLOBAL ID：200903099621898770
検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-043179
公開番号（公開出願番号）：特開平6-236910
出願日： 1993年02月08日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構造によって被検査体の反りによる収容時の事故を未然に防止して良品と判断された被検査体の破損を少なくすることのできる構造を備えたプローブ装置を提供することにある。【構成】 本発明では、特性試験後、収容部18に搬送される被検査体16の厚さ方向での反りを検出し、その反り量が所定値以上にあるときには、検査後の被検査体16を通常の良品と同じ位置への搬送を行わないようにする制御部34を備えている。従って、反りの量が所定値以上である被検査体は収容部18への搬送が行われないことによって、収容部18との間での干渉衝突を防止して破損させないようにすることができる。
請求項（抜粋）：
特性試験を行うための被検査体を収容する多段のスロットが形成されている収容部に対して上記被検査体を搬送する搬送部材を備えた検査装置において、上記収容部に搬送される被検査体の反りを検出する検出手段と、上記収容部とは別の位置に設けられていて、上記被検査体の載置および取出し可能な載置部と、上記検出手段による被検査体の反りが所定置以上である場合に、上記被検査体を上記載置部に向け搬送する制御部と、を備えていることを特徴とする検査装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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