特許
J-GLOBAL ID：200903099626974203
セラミックス薄膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-101714
公開番号（公開出願番号）：特開平5-279152
出願日： 1992年03月27日
公開日（公表日）： 1993年10月26日
要約：
【要約】【目的】本発明は、セラミックスの前駆体であるような材料あるいはそれらの混合物から、焼結あるいは粉砕という工程によりセラミックス粉末を得ることなく、該前駆体であるような材料から、基材上に直接セラミックス薄膜を製造する方法を提供することにある。さらには、乾式による供給が困難なC粒子に分類されるような凝集し易い粉末をも液状物として供給することにより、容易に該粉末を取扱える方法を提供することにある。【構成】セラミックス粉末のそれぞれの前駆体であるような材料を、溶媒中に溶解および/または分散させた液状物から、熱プラズマスプレイにより、直接基材上に酸化アルミニウム、酸化マグネシウムあるいは酸化ジルコニウムの薄膜を製造する。
請求項（抜粋）：
液状物を供給する供給管とガス供給管とを合わせ持つ多重管構造を有する原料供給ノズルをプラズマ炎中に挿入し、プラズマ炎中に液状物が供給できるプラズマ装置を用いてセラミックス薄膜を製造する方法において、(I)1種類の金属元素を有する金属化合物あるいは2種類以上の混合物、(II)2種類以上の金属元素を有する金属化合物、のうち(I)および/または(II)を溶媒中に溶解および/または分散させた液状物を熱プラズマにより基材上に直接溶射し、セラミックス膜とすることを特徴とするセラミックス薄膜の製造方法。
IPC (2件)：
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