シート状ワークの検査方法及び装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高矢諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-182807
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005638
出願日： 2000年06月19日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】【課題】シート状のワークを画像入力して検査する際、該ワークに変形やたわみが生じている場合でも、検査精度を向上できるようにする。【解決手段】検査ステージ14上に載置され、且つ、該ステージと上に重ねられたガラス板16とにより挟持されているシート状ワークWを、該ステージの上方に配されたラインセンサカメラ10により、該カメラを同ステージに沿って移動させながら撮像し、得られた画像に基づいて前記ワークを検査する装置において、前記ガラス板16の表面に接触するローラ18と、該ローラを前記カメラと共に回転移動させるとともに、前記ローラにより前記カメラの視野近傍に位置するガラス板の表面を、実質的に同一の押圧力で押さえつけるダンパ20とを備えた。

請求項（抜粋）：

検査ステージ上に載置され、且つ、該ステージと上に重ねられたガラス板とにより挟持されているシート状ワークを、該ステージの上方に配された撮像手段により、該撮像手段を同ステージに沿って移動させながら撮像し、得られた画像に基づいて前記ワークを検査するシート状ワークの検査方法において、前記ガラス板の表面に接触するローラを前記撮像手段と共に回転移動させ、該ローラにより前記撮像手段の視野近傍に位置する前記ガラス板の表面を、実質的に同一の押圧力で押え付けることを特徴とするシート状ワークの検査方法。

IPC (2件)：

G01B 11/30 , G01N 21/88

FI (2件)：

G01B 11/30 A , G01N 21/88 Z

Fターム (26件)：

2F065AA49 , 2F065AA58 , 2F065BB01 , 2F065CC02 , 2F065DD00 , 2F065FF01 , 2F065HH00 , 2F065HH13 , 2F065JJ02 , 2F065JJ25 , 2F065LL00 , 2F065LL02 , 2F065MM07 , 2F065PP04 , 2F065PP24 , 2F065QQ00 , 2F065QQ05 , 2F065QQ34 , 2F065UU04 , 2G051AA90 , 2G051AB02 , 2G051AC15 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051EA11 , 2G051EB01

前のページに戻る