特許

J-GLOBAL ID：200903099631172603

冷却板を損傷することのないプラズマエッチング用シリコン電極板

発明者： 米久 孝志
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (3件)： 富田 和夫 ,  鴨井 久太郎 ,  影山 秀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-233210
公開番号（公開出願番号）：特開2008-060197
出願日： 2006年08月30日
公開日（公表日）： 2008年03月13日
要約：

【課題】冷却板を損傷することのないプラズマエッチング用シリコン電極板を提供する。【解決手段】シリコン電極板のプラズマ側からシリコン電極板の厚さ方向に平行な方向に向かって形成された垂直細孔2と、この垂直細孔2に接続し冷却板側に抜けるように形成されたシリコン電極板の厚さ方向に非平行な方向の傾斜細孔12からなる貫通細孔を有するシリコン電極板において、前記シリコン電極板1の厚さ方向に平行な方向の垂直細孔2の先端延長部に、行止り延長細孔13を形成してなることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

シリコン電極板のプラズマ側からシリコン電極板の厚さ方向に平行な方向に向かって形成された細孔(以下、垂直細孔という)と、この垂直細孔に接続しかつ冷却板側に抜けるように形成されたシリコン電極板の厚さ方向に非平行な方向の傾斜細孔からなる貫通細孔を有するシリコン電極板において、

IPC (1件)：

H01L 21/306

FI (1件)：

H01L21/302 101L

Fターム (4件)：

5F004BA06 ,  5F004BB13 ,  5F004BB29 ,  5F004DA23

引用特許：

出願人引用 (2件)

• プラズマエッチング用多層シリコン電極板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-091091   出願人：三菱マテリアル株式会社
• 分割可能な電極及びこの電極を用いたプラズマ処理装置ならびに電極交換方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-039749   出願人：東京エレクトロン株式会社