特許

J-GLOBAL ID：200903099634014812

電子銃

発明者： 中筋 護
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-287113
公開番号（公開出願番号）：特開平9-129166
出願日： 1995年11月06日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】 広い視野に均一な強度分布の電子線を照射できると共に、動作が安定な電子銃を提供する。【解決手段】 六ホウ化ランタン(LaB6)の角柱状の単結晶の先端の放出面1aを曲率半径r1の球面に研磨してカソード1を形成し、カソード1に対向するアノード2の球面部2aをその放出面1aと同心の半径r2の球面に加工し、カソード1とアノード2との間に、カソード1とアノード2との中間の電位のウェーネルト3を配置した。カソード1の放出面1aの曲率半径r1は2mm以上とした。

請求項（抜粋）：

電子線の放出面が凸の球面に形成されたカソードと、該カソードに対向するように配置された部分の内面が前記電子線の放出面と同心の球面に形成されたアノードと、を有することを特徴とする電子銃。

IPC (3件)：

H01J 37/073 ,  H01J 37/06 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01J 37/073 ,  H01J 37/06 Z ,  H01L 21/30 541 B