特許
J-GLOBAL ID：200903099637237197
研磨パッドのドレッサー及び研磨パッドのドレッシング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-164588
公開番号（公開出願番号）：特開2000-000753
出願日： 1998年06月12日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：
【要約】【課題】 研磨パッドの研磨面が平坦でなくても、ドレッサーが研磨パッドの研磨面を均一に押圧できるようにする。【解決手段】 ドレッサー10は、研磨パッド2の研磨面に対して進退可能であると共に凹部12を有するドレッサー本体11を備えている。ドレッサー本体11の凹部12には第1の空間部13が形成されるように支持部材14が固定されていると共に、支持部材14には多数の第2の空間部15が設けられている。第2の空間部15には上下動可能な多数の上下動部材18が挿入されており、各上下動部材18は、本体部18aとガイド部18bと本体部18aの下面に固着された微粒状のダイヤモンド18cとからなる。ドレッサー本体11の加圧流体供給路19の上端部から導入される加圧流体は第1の空間部13から貫通孔17を通って第2の空間部15に供給されるので、各上下動部材18に設けられたダイヤモンド18cは均一な圧力で研磨パッド2の研磨面と摺接する。
請求項（抜粋）：
半導体基板の被研磨膜を研磨する研磨パッドの研磨面を活性化させる研磨パッドのドレッサーであって、前記研磨パッドの研磨面に対して進退可能に設けられたドレッサー本体と、前記ドレッサー本体に互いに独立して上下動可能に保持された多数の上下動部材と、前記多数の上下動部材における前記研磨パッドの研磨面と対向する各対向面に設けられ前記研磨パッドの研磨面と摺接して該研磨面を活性化する摺接部材と、前記ドレッサー本体に設けられており、前記多数の上下動部材を均一な圧力で前記研磨パッドに対して押圧する加圧流体を供給する加圧流体供給手段とを備えていることを特徴とする研磨パッドのドレッサー。
IPC (2件)：
B24B 37/00
, H01L 21/304 622
B24B 37/00 A
, H01L 21/304 622 M
3C058AA07
, 3C058AA16
, 3C058AA19
, 3C058AC04
, 3C058CB01
, 3C058DA17
