特許
J-GLOBAL ID：200903099641444342
基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-278784
公開番号（公開出願番号）：特開2006-093494
出願日： 2004年09月27日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：
【課題】 レシピ編集画面からソフトガスパターン画面等の個別制御パラメータ設定画面に切換えた場合に、該個別制御パラメータ設定画面上にID番号等のレシピ編集情報を表示可能とし、個別制御パラメータ設定での誤設定の発生を防止する。 【解決手段】 各ステップ毎に制御パラメータを設定してレシピを作成し、該レシピを実行することにより基板の処理を行う基板処理装置に於いて、該基板処理装置が表示部47を具備し、前記表示部に任意のステップに於けるレシピ編集画面、及びレシピのステップ毎の個別制御パラメータ設定画面を表示可能であり、任意のステップのレシピ編集画面上での所定操作で前記個別制御パラメータ設定画面に移行可能であると共に該個別制御パラメータ設定画面には少なくともステップ番号が表示される様構成した。 【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
各ステップ毎に制御パラメータを設定してレシピを作成し、該レシピを実行することにより基板の処理を行う基板処理装置に於いて、該基板処理装置が表示部を具備し、前記表示部に任意のステップに於けるレシピ編集画面、及びレシピのステップ毎の個別制御パラメータ設定画面を表示可能であり、任意のステップのレシピ編集画面上での所定操作で前記個別制御パラメータ設定画面に移行可能であると共に該個別制御パラメータ設定画面には少なくともステップ番号が表示される様構成したことを特徴とする基板処理装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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