電子装置の劣化・寿命診断方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-137930
公開番号（公開出願番号）：特開平10-313034
出願日： 1997年05月12日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：

【要約】【課題】アナログ回路、ディジタル回路の区別なく、また診断対象回路に関する設計者の知識を必要とせずに、ユーザーレベルでの劣化・寿命診断を精度よく行なうこと。【解決手段】電子装置を構成する電子化制御基板から、その劣化状態を反映するICを抽出し、ICを加工して、ICチップ上のアルミ配線部を分析面として取り出し、電子装置の劣化と共に変化する抽出ICチップ上のアルミ配線部の腐食量または当該腐食物質を構成する特定元素量を分析により定量評価し、評価結果を、予め高加速試験で調べておいたアルミ配線腐食量または当該腐食物質を構成する特定元素量の時系列変化、およびアルミ配線腐食量または当該腐食物質を構成する特定元素量と故障割合の相関から導き出される劣化・寿命診断曲線と照合し計算することにより、電子装置の劣化度および余寿命を推定する。

請求項（抜粋）：

ICを搭載した電子装置の劣化状態を検知し、余寿命を推定する劣化・寿命診断方法において、診断時に、前記電子装置を構成する電子化制御基板から、その劣化状態を反映するICを抽出し、前記抽出されたICを加工して、ICチップ上のアルミ配線部を分析面として取り出し、前記電子装置の劣化と共に変化する前記抽出ICチップ上のアルミ配線部の腐食量または当該腐食物質を構成する特定元素量を分析により定量評価し、前記評価結果を、予め高加速試験で調べておいたアルミ配線腐食量または当該腐食物質を構成する特定元素量の時系列変化、および前記アルミ配線腐食量または当該腐食物質を構成する特定元素量と故障割合の相関から導き出される劣化・寿命診断曲線と照合し計算することにより、前記電子装置の劣化度および余寿命を推定することを特徴とする電子装置の劣化・寿命診断方法。

IPC (2件)：

H01L 21/66 , H01L 21/3205

FI (4件)：

H01L 21/66 Z , H01L 21/66 L , H01L 21/66 S , H01L 21/88 Z

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