固体撮像素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-176383
公開番号（公開出願番号）：特開平8-046164
出願日： 1994年07月28日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】固体撮像素子において、光電変換・蓄積領域から電荷転送領域に電荷を読出す際の印加電圧を下げること。【構成】光電変換・蓄積領域5、読出し領域8、電荷転送領域4が真横に並ぶ様に配置された単位セルにおいて、ITO膜からなる読出兼転送ゲート線(10-1A,10-1Aa)がその上を走り、水平に隣接する他セルと接続する。【効果】N型拡散層5の電位の深いところが読出し領域8の中心の真横にくるので電荷の読出し電圧が低くなる。転送ゲート線(10-2A,10-2Aa)をアルミニウム配線12と接続でき、垂直レジスタの高速動作が阻害されない。

請求項（抜粋）：

半導体基板の表面部の第1導電型領域の表面部に形成された第2導電型拡散層および前記第2導電型拡散層の表面部に形成された高濃度第1導電型拡散層を有する光電変換・電荷蓄積領域が複数個列状に配置された光電変換素子列と、前記光電変換・電荷蓄積領域にそれぞれ近接した第1導電型の電荷読出し領域と、前記電荷読出し領域に近接し前記光電変換素子列と平行に配置された電荷転送領域および前記電荷転送領域とゲート絶縁膜を介して交差する読出兼転送ゲート電極と転送ゲート電極との対を有する垂直シフトレジスタとを含む画素列を複数個並列配置した固体撮像素子において、前記光電変換・電荷蓄積領域、電荷読出し領域および読出兼転送ゲート電極下の電荷転送領域がそれぞれの列方向寸法の中点を行方向に揃えて配置され、前記読出兼転送ゲート電極を行方向に連結した読出兼転送ゲート電極線が前記光電変換・電荷蓄積領域と交差しかつ透明導電膜からなることを特徴とする固体撮像素子。

前のページに戻る