特許
J-GLOBAL ID：200903099645721260
熱電発電素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-324313
公開番号（公開出願番号）：特開平9-162447
出願日： 1995年12月13日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】 腕時計などの小型携帯用電子機器に搭載して利用可能な熱電発電素子を開発するために、従来技術の方法では製造できないような微細な熱電材料を製造し、微小で集積密度の高い熱電発電素子を製造する方法を提供する。【解決手段】 Tiなどの基板10に厚膜の感光性樹脂20でストライプパターンを形成し、その開口部内にメッキ法を用いて第1の熱電体30と第2の熱電体31を形成した熱電構造体を形成し、基板を除去しつつ熱電構造体を絶縁体を挟みながら多数重ね、隣り合う熱電体同士を直列に接続することにより熱電発電素子を形成する。
請求項（抜粋）：
表面あるいは全体が金属材料からなる基板上に感光性樹脂を用いてストラプ状のパターンを形成する工程と、基板を電極として用い感光性樹脂の開口部に第1の熱電材料からなる第1の熱電体をメッキ法により形成する工程とから第1の熱電構造体を所定数形成し、さらに表面あるいは全体が金属材料からなる基板上に感光性樹脂を用いてストラプ状のパターンを形成する工程と、基板を電極として用い感光性樹脂の開口部に第2の熱電材料からなる第2の熱電体をメッキ法により形成する工程から第2の熱電構造体を所定数形成し、1個の第1の熱電構造体には熱絶縁性板を貼り付け基板を除去し、第1の熱電構造体の基板を除去した面に第2の熱電構造体を絶縁体を介して接着し、再度基板を除去し、さらにつづいて第1の熱電構造体と第2の熱電構造体とを交互に接着と基板の除去の工程を繰り返すことによって第1の熱電体と第2の熱電体を所定数積層し、ストライプの長手方向の端面において、隣り合う第1の熱電体と第2の熱電体を配線電極により交互につなぎ合わせることにより直列に接続する複数の熱電対を形成することを特徴とする熱電発電素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 35/32 A
, G01K 7/02 A
