特許
J-GLOBAL ID：200903099659450722
単結晶インゴットのマーキング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-040498
公開番号（公開出願番号）：特開平6-232015
出願日： 1993年02月04日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】 安定したマーキング作業ができ、しかも寿命の長いマーキング装置を提供する。【構成】 弾性ローラ12によって単結晶インゴット4を2個のガイドローラ19に押し付けて3点支持によりインゴット4を位置決めする。弾性ローラ12を回転してインゴット4を回転させながら、X線源6からX線を照射し、インゴット4でX線が回折したときにその回折線をX線カウンタ7で検出する。回折線の検出時、インゴット4の回転を止めてダイヤモンドペン24によってインゴット4にけがき線L3を付与する。このけがき線L3に基づいてオリフラ面等が加工によって形成される。インゴット4それ自体を直接回転させ、しかもXY二方向スライダ8及び回転テーブル9の働きによりインゴット4を円滑に回転できるので、安定したマーキング作業ができる。
請求項（抜粋）：
単結晶インゴットに関してその内部結晶格子面に対する一定の表面位置に識別マークを形成するマーキング装置であって、単結晶インゴットに向けてX線を照射するX線源と、単結晶インゴットで回折した回折X線を検出するX線検出手段とを備えた単結晶インゴットのマーキング装置において、平面内で自由に平行移動できる二方向スライドテーブルと、二方向スライドテーブルの上に配置され、自由に回転でき、単結晶インゴットが載置される回転テーブルと、単結晶インゴットの外周面に当接する2個のガイドローラと、それら2個のガイドローラを結ぶ線分に関する垂直2等分線上に配置される弾性ローラと、その弾性ローラを上記2個のガイドローラに近づき又は遠ざかる方向へ移動させるローラ移動手段と、上記弾性ローラをその中心軸線のまわりに回転させるローラ回転手段とを有することを特徴とする単結晶インゴットのマーキング装置。
引用特許：
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