特許

J-GLOBAL ID：200903099684962495

多重環構造のエーテルモノマー、ならびにこれより得られる感光性ポリマー及び化学増幅型レジスト組成物

発明者： 金 賢 友 ,  禹 相 均 ,  李 性 昊
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 八田 幹雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-124336
公開番号（公開出願番号）：特開2002-348325
出願日： 2002年04月25日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】 アルケニルエーテルを基本構造とする多重環構造のモノマー、その重合生成物の感光性ポリマー、及びこれを含むレジスト組成物を提供する。【解決手段】 下記式:【化1】(式中、R4及びR5は、それぞれ独立して、水素原子またはメチル基であり、R6及びR7は、それぞれ独立して、水素原子、ヒドロキシル基、または炭素原子数1〜20の酸素原子および/またはハロゲン原子を有してもよい炭化水素基である)の構造を有するモノマーユニットを含む感光性ポリマー。

請求項（抜粋）：

下記式:【化1】式中、R1は水素原子またはメチル基であり、R2及びR3は、それぞれ独立して、水素原子、ヒドロキシル基、または炭素原子数1〜20の酸素原子および/またはハロゲン原子を有してもよい炭化水素基である、の構造を有することを特徴とするモノマー。

IPC (3件)：

C08F 34/02 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

C08F 34/02 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (37件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J100AK32Q ,  4J100AK32S ,  4J100AL08R ,  4J100AR11R ,  4J100AR32P ,  4J100AR32Q ,  4J100AR32R ,  4J100BA02P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA15P ,  4J100BA15Q ,  4J100BA15R ,  4J100BA16P ,  4J100BB18P ,  4J100BB18Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC12R ,  4J100DA01 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭54-009275
  
• 特開昭54-009275