特許
J-GLOBAL ID：200903099692799803
イオン注入機に使用するイオン発生装置とその方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萼 経夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-319526
公開番号（公開出願番号）：特開平8-227688
出願日： 1995年11月14日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：
【要約】【課題】陰極の寿命を向上させたイオン発生装置を提供すること。【解決手段】イオン発生装置12は、導電性室壁にイオンを室外へ流出させる出口開口78を備えたガス封入室76を有し、ガス封入室76と陰極124 がベース120 に支持され、ガス封入室76にガスが供給される。陰極124 は、ガス封入室内に突出している管状導電体160,162 を有し、この導電体の先端側に導電性キャップ164 を設け、イオン化電子をガスイオン化ゾーン内へ放出する。ベース120 によって陰極の管状導電体の内側の、導電性キャップ164 を加熱できる位置にフィラメント178 が支持されて、イオン化電子が導電性キャップ164 からガス封入室内へ放出されるようにしている。
請求項（抜粋）：
イオン注入機に使用するイオン発生装置(12)であって、a)封入室内部を形成する導電性の室壁を備えており、イオンを流出させるイオン出口開口(78)を設けており、さらに、導電性室壁の1つの出口開口から離れた位置に、室外から室内へアクセスできるようにするアクセス開口(158) を設けている封入室(76)と、b)イオン出口開口(78)から前記封入室を出るイオンからイオンビーム(20)を形成するための、前記封入室から離設された構造体(14、80) に対応する位置に前記封入室を支持するベース(120) と、c)イオン化物質を封入室の内部へ送り込むため、前記封入室と連通している供給源(142) とを設けており、前記イオン発生装置は、d)前記ベースによって支持されて、前記物質をイオン化するために室内部へイオン化電子を放出するように前記封入室に対して位置決めされた陰極(124) で、アクセス開口から前記封入室内へ延出した導電体(160、162) が、封入室の内部にある一方の端部に導電性キャップ(164) を支持しており、前記導電性キャップとは軸方向に反対の位置に開放端部を備えている陰極(124) と、e)前記キャップを加熱してイオン化電子を導電性キャップ(164) から前記封入室内へ放出するため、前記陰極の管状導電体の内側の位置で前記ベースによって支持されているフィラメント(178) と、f)少なくとも1つの絶縁体(152) によって前記ベースから離して設けられており、陰極をアクセス開口内に、アクセス開口を形成している導電性室壁から離して、また導電性キャップ(164) が前記封入室の内部に位置するようにして支持する取付けプレート(150) とを有していることを特徴とするイオン発生装置。
IPC (4件)：
H01J 37/317
, H01J 27/20
, H01J 37/08
, H01L 21/265
H01J 37/317 Z
, H01J 27/20
, H01J 37/08
, H01L 21/265 D
