特許
J-GLOBAL ID：200903099693950033
研磨パッドのドレッシング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-043290
公開番号（公開出願番号）：特開平10-235549
出願日： 1997年02月27日
公開日（公表日）： 1998年09月08日
要約：
【要約】【課題】研磨屑を含んで汚濁した洗浄液による研磨パッドの再汚染を防止できる研磨パッドのドレッシング装置を提供する。【解決手段】吸引ノズル24を設け、研磨屑を含んで汚濁した洗浄液を直ちに吸引除去する。したがって、汚濁した洗浄液が研磨パッド50に再付着することがないので、研磨パッド50の再汚染を防止できる。
請求項（抜粋）：
研磨装置の研磨パッドに噴射ノズルから洗浄液を噴射してドレッシングする研磨パッドのドレッシング装置において、前記研磨パッドに向いた吸引ノズルを設けるとともに、前記吸引ノズルによって、汚濁した洗浄液を除去することを特徴とする研磨パッドのドレッシング装置。
引用特許：
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