特許

J-GLOBAL ID：200903099699058892

観測パッド及びその配置方法

発明者： 久慈 憲夫 ,  竹田 忠雄
出願人/特許権者： エヌティティエレクトロニクス株式会社 ,  日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-046849
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243847
出願日： 1999年02月24日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】本発明の課題は、観測パッドの配置率を向上し、故障の発生箇所にかかわらず診断精度を大幅に向上し得る観測パッド及びその配置方法を提供することにある。【解決手段】本発明は、複数配線層の最上配線層以外の配線層に配置された下層配線ML1と、最上配線層ML4に配置された電極と、前記電極と前記下層配線ML1とを接続するように配線層に配置された配線及び配線間を接続するように配置された導電体よりなる観測パッドであって、前記電極を前記下層配線ML1より水平方向に位置をずらして配置することを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

複数配線層の最上配線層以外の配線層に配置された下層配線と、最上配線層に配置された電極と、前記電極と前記下層配線とを接続するように配線層に配置された配線及び配線間を接続するように配置された導電体よりなる観測パッドであって、前記電極を前記下層配線より水平方向に位置をずらして配置することを特徴とする観測パッド。

IPC (5件)：

H01L 21/82 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822

FI (5件)：

H01L 21/82 P ,  H01L 21/66 E ,  H01L 21/88 S ,  H01L 21/88 T ,  H01L 27/04 E

Fターム (21件)：

4M106AA11 ,  4M106AD01 ,  4M106BA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA40 ,  5F033NN38 ,  5F033UU05 ,  5F033VV12 ,  5F033XX37 ,  5F038BE10 ,  5F038DT04 ,  5F038DT15 ,  5F038EZ20 ,  5F064BB33 ,  5F064DD46 ,  5F064EE13 ,  5F064EE16 ,  5F064EE17 ,  5F064EE23 ,  5F064EE26 ,  5F064EE27

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 半導体集積回路のレイアウト設計方法および記録媒体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-156836   出願人：日本電信電話株式会社
• 半導体集積回路装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-337353   出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立超エル・エス・アイ・システムズ