特許
J-GLOBAL ID：200903099708036104
真空蒸着装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-013829
公開番号（公開出願番号）：特開平6-228740
出願日： 1993年01月29日
公開日（公表日）： 1994年08月16日
要約：
【要約】【目的】 蒸着源の上部に設けられたノズルに蒸着物質が付着することを防いで、比較的長時間の蒸着を可能とし、また形状の制御性良く蒸着を行い得る真空蒸着装置を提供する。【構成】 蒸着物質の入った蒸着源1を加熱して蒸着物質を蒸発させることにより、真空中で被蒸着物に蒸着物質を蒸着させる真空蒸着装置において、蒸着源1の上部に蒸気流を噴出するノズル2を設け、蒸着源1及びノズル2を同時または別々に加熱する加熱手段3を有する構成とする。
請求項（抜粋）：
蒸着物質の入った蒸着源を加熱して蒸着物質を蒸発させることにより、真空中で被蒸着物に蒸着物質を蒸着させる真空蒸着装置において、上記蒸着源の上部に蒸気流を噴出するノズルが設けられ、上記蒸着源及び上記ノズルを同時または別々に加熱する加熱手段を有することを特徴とする真空蒸着装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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