形状測定方法及びその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉岡宏嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-120357
公開番号（公開出願番号）：特開2003-315029
出願日： 2002年04月23日
公開日（公表日）： 2003年11月06日
要約：

【要約】【課題】特徴点のマッチングを用いることなく、試料の断面形状または三次元形状を正確に測定すること。【解決手段】チルト角φ=0のときに電子銃1から試料7に照射されたときの電子ビームの信号強度を電子検出器3で検出し、この検出出力を基に、画像処理部6で試料表面の傾斜角θを算出し、この算出値から試料の断面形状候補を推定し、推定された試料の断面形状候補に対して、チルト角をφ=φ0に変更して電子ビームを照射したと仮定したときに、試料の断面形状候補から発生した電子ビームの信号強度を推定し、この信号強度の推定結果と、チルト角をφ=φ0に変更したときに、電子検出器3によって実際に検出された電子ビームの信号強度とを照合し、この照合結果が最小となる試料の断面形状を推定し、この推定結果から試料の三次元形状を求める。

請求項（抜粋）：

試料に対して走査方向の軸に沿って相対移動しながら前記試料の表面に電磁波または荷電粒子を照射し、前記電磁波または荷電粒子の照射に伴って前記試料で反射した電磁波または前記試料から発生した荷電粒子の信号強度を検出し、この検出出力を基に前記電磁波または荷電粒子の照射位置における試料表面の傾斜角を算出し、この算出値から前記試料の断面形状候補を推定し、前記試料の断面形状候補に対する電磁波または荷電粒子の入射角を前記試料に対する電磁波または荷電粒子の入射角とは異なる角度に変えたと仮定して前記試料の断面形状候補で反射した電磁波または前記試料から発生した荷電粒子の信号強度を推定し、前記信号強度の推定結果と前記試料に対する電磁波または荷電粒子の入射角を前記仮定したときの角度に変更したときに得られた信号強度の検出出力とを照合し、この照合結果を基に前記試料の断面形状を推定する形状測定方法。

IPC (4件)：

G01B 15/04 , H01J 37/28 , H01L 21/027 , H01L 21/66

FI (4件)：

G01B 15/04 , H01J 37/28 B , H01L 21/66 J , H01L 21/30 502 V

Fターム (17件)：

2F067AA23 , 2F067AA52 , 2F067AA53 , 2F067CC17 , 2F067HH01 , 2F067HH06 , 2F067HH10 , 2F067HH13 , 2F067JJ01 , 2F067JJ05 , 2F067KK04 , 2F067KK08 , 2F067PP11 , 4M106AA01 , 4M106CA39 , 4M106DB30 , 5C033UU08

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭63-157433
特開昭63-148112
特開昭61-290312

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