特許
J-GLOBAL ID：200903099724830171

半導体センサ及びタイヤ状態監視装置の送信機

発明者：
大久保 陽一

大久保 陽一 について

, 
加藤 道哉

加藤 道哉 について


出願人/特許権者：
太平洋工業株式会社

太平洋工業株式会社 について


代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-358174
公開番号（公開出願番号）：特開2004-191128
出願日： 2002年12月10日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：
【課題】圧力センサの機能と加速度センサの機能とを兼ね備えながら、小型軽量化を図ることが可能な半導体センサを提供すること。【解決手段】半導体センサ16は、共通台座30と、該共通台座30の一方の面に気密接合された第1台座40と、共通台座30の他方の面に接合された第2台座50とを備える。共通台座30の一方の面には第1電極31が設けられ、他方の面には第2電極32が設けられている。第1台座40には、窪み部41の形成によりダイヤフラム42が形成され、該ダイヤフラム42には、第1電極31と対向する第3電極45が設けられ、共通台座30と第1台座40を接合して窪み部41により気密空間48が形成されている。第2台座50には、バネ支持物52により弾性支持され加速度により変位する重量塊53が設けられ、該重量塊53には、第2電極32と対向する第4電極54が設けられている。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
共通台座と、該共通台座の一方の面に気密接合された第1台座と、共通台座の他方の面に接合された第2台座とを備え、 前記共通台座の一方の面には第1電極が設けられ、他方の面には第2電極が設けられ、 前記第1台座には、窪み部の形成によりダイヤフラムが形成され、該ダイヤフラムには、前記第1電極と対向する第3電極が設けられ、 前記共通台座と前記第1台座を接合して前記窪み部により気密空間が形成され、 前記第2台座には、バネ支持物により弾性支持され加速度により変位する重量塊が設けられ、該重量塊には、前記第2電極と対向する第4電極が設けられたこと を特徴とする半導体センサ。
IPC (6件)：
G01L9/00 ,  B60C23/04 ,  B60C23/20 ,  G01L17/00 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84
FI (7件)：
G01L9/00 305G ,  B60C23/04 G ,  B60C23/04 N ,  B60C23/20 ,  G01L17/00 301N ,  G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z
Fターム (24件)：
2F055AA12 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD04 ,  2F055EE25 ,  2F055FF31 ,  2F055FF34 ,  2F055FF43 ,  2F055GG11 ,  4M112AA01 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA01 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA08 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112FA11 ,  4M112FA20
引用特許：
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM