特許

J-GLOBAL ID：200903099730131684

ポジ型感放射線性樹脂組成物

発明者： 丹 史郎 ,  藤森 亨
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-211361
公開番号（公開出願番号）：特開2001-042531
出願日： 1999年07月26日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】PED(Post Exposure Time De1ay)による寸法変動を起こさず、高感度、高解像力を有するポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(a)フェノール性水酸基を有するポリマー、アルキルビニルエーテル化合物、及びアルコール化合物を酸性触媒存在下に反応させて得られる、酸の作用により分解しアルカリ現像液に対する溶解性が増大するポリマー、(b)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)溶剤を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(a)フェノール性水酸基を有するポリマー、アルキルビニルエーテル化合物、及びアルコール化合物を酸性触媒存在下に反応させ、該反応により副生した分子量1000以下の低分子アセタール化合物を除去して得られた、酸の作用により分解しアルカリ現像液に対する溶解性が増大するポリマー、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)溶剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (20件)：

2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC03 ,  2H025FA17