特許
J-GLOBAL ID:200903099732295285

フォトニック集積デバイスでの光パワー測定

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中村 稔 (外9名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-558564
公開番号(公開出願番号):特表2002-520821
出願日: 1999年07月01日
公開日(公表日): 2002年07月09日
要約:
【要約】フォトニック集積デバイス(1)は、半導体材料の導波路(14、16)及び導波路(14、16)に沿って移動する光の光パワーを測定するためのディテクタ(26)を含む。デバイス中にモノリシックに集積されたディテクタは、2光子吸収によって導波路中で生成された光電流を電極(26)上で測定する。
請求項(抜粋):
半導体材料の導波路(14、16)及び前記導波路(14、16)に沿って移動する光の光パワーを測定するためのディテクタ(26)を含むフォトニック集積デバイス(1)において、前記ディテクタ(26)は、前記導波路(14、16)中で、2光子吸収によって生成される光電流(imod1、imod2)を測定し、前記ディテクタ(26)は、前記デバイス(1)中にモノリシックに集積されることを特徴とするフォトニック集積デバイス(1)。
IPC (2件):
H01L 31/10 ,  G02B 6/12
FI (3件):
H01L 31/10 A ,  G02B 6/12 Z ,  G02B 6/12 N
Fターム (11件):
2H047KA05 ,  2H047MA07 ,  2H047NA02 ,  2H047QA02 ,  2H047RA01 ,  5F049MA01 ,  5F049MB07 ,  5F049QA02 ,  5F049RA02 ,  5F049RA06 ,  5F049UA17

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