特許
J-GLOBAL ID：200903099734513417
レーザ加工装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-261542
公開番号（公開出願番号）：特開平6-106378
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：
【要約】【目的】波長吸収感度の異なった試料の適正な加工が可能で、かつ安価でコンパクトなレーザ加工装置を提供することを目的とする。【構成】レーザ加工装置は、単一波長光を射出するYAGレーザヘッド2と、YAGレーザヘッド2から射出されたレーザ光を試料16面上に結像させる結像光学系13〜15と、を備える。YAGレーザヘッド2からの単一波長光は、高調波発生器3によって複数の波長光に変換され、それぞれの波長光のどちらか一方が可変光減衰器3,5によって波長選択される。選択された波長のレーザ光は、結像光学系13〜15へ導かれる。
請求項（抜粋）：
単一波長光を射出するレーザ発振器と、このレーザ発振器から射出されたレーザ光を試料面上に結像させる結像光学系と、を有するレーザ加工装置において、前記レーザ発振器からの単一波長光を複数の波長光に変換する変換手段と、この複数の波長光を可変光減衰手段を用いて透過あるいは遮光し、波長選択する選択手段と、この選択手段によって波長選択されたレーザ光を前記結像光学系に導く光学系と、を有することを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (3件)：
B23K 26/06
, B23K 26/00
, G02F 1/37
