特許
J-GLOBAL ID：200903099734520774
光学的測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-077466
公開番号（公開出願番号）：特開平5-280947
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】大きな角度範囲の工作物の表面形状を高精度に測定することを目的とする。【構成】レーザ光源101と、前記レーザ光源101から出射されるレーザ光を被測定物12に向けて照射させる光学系102と、被測定物12により反射されるレーザ光の結像位置に応じて、中心からの距離に比例した電気信号を出力する位置検出素子103と、この位置検出素子103をレーザ光の位置検出素子103への入射方向と直交する方向に駆動するためのアクチュエータ104と、前記位置検出素子103から出力される電気信号が所定値になるように前記位置検出素子103を駆動する前記アクチュエータ104を制御する制御手段105と、前記制御手段105による前記位置検出素子103の基準位置からの移動量から前記被測定物12の表面形状を算出する演算手段106とを備えたものである。
請求項（抜粋）：
レーザ光源と、前記レーザ光源から出射されるレーザ光を被測定物に向けて照射させる光学系と、前記被測定物により反射されるレーザ光の結像位置に応じて、中心からの距離に比例した電気信号を出力する位置検出素子と、この位置検出素子をレーザ光の前記位置検出素子への入射方向と直交する方向に駆動するためのアクチュエータと、前記位置検出素子から出力される電気信号が所定値になるように、前記位置検出素子を駆動する前記アクチュエータを制御する制御手段と、前記位置検出素子の基準位置からの移動量から前記被測定物の表面形状を算出する演算手段とを備えたことを特徴とする光学的測定装置。
IPC (2件)：
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