特許

J-GLOBAL ID：200903099739634948

表面上に制御された粒子蒸着を行う方法及び装置

発明者： リュー,ベンジャミン・ワイ・エイチ ,  サン,ジェームズ・ジェイ
出願人/特許権者： エムエスピー・コーポレーション
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-512680
公開番号（公開出願番号）：特表2000-517243
出願日： 1997年08月19日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】噴霧器(12、50、110、136)は所望の材料の粒子を含む液体を保持する室(20、54、110、138)を有する。エーロゾル粒子は吸入ノズル(14、56)及び超音波振動器(142)を使用することにより形成され、エーロゾル粒子はガス流内に担持される。エーロゾル粒子は高圧電極(24、70、92、96、98、100、118、180)との接触によりエーロゾル粒子上の電荷を増大させることによって処理され、エーロゾル粒子は内部の分離ステージ(34、42、78、84、160、166)を通され、流れから大粒のエーロゾル粒子を除去し、そのような粒子を噴霧器(12、50、110、136)から放出させないようにする。

請求項（抜粋）：

噴霧器において、 表面上に蒸着される所望の材料を含む液体であって、室内で減寸されてエーロゾル粒子となる液体の供給源と; エーロゾル粒子を出口へ運ぶ上記室を通る流れを形成するための圧縮ガスの供給源と; 所望の材料を含むエーロゾル粒子の蒸着効率を高めるために噴霧器から放出されるエーロゾル粒子の特徴を制御する装置と;を有することを特徴とする噴霧器。

IPC (5件)：

B05B 7/30 ,  B05B 1/26 ,  B05D 1/04 ,  H01L 21/316 ,  B05B 5/043

FI (5件)：

B05B 7/30 ,  B05B 1/26 Z ,  B05D 1/04 A ,  H01L 21/316 G ,  B05B 5/043

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平2-189159
  
• 特開平3-065261
  
• オイルミストの粒径制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-311779   出願人：東海ゴム工業株式会社
• 特開平2-189159
  
• 特開平3-065261