特許
J-GLOBAL ID:200903099743481447

真空バルブ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 宮田 金雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-149256
公開番号(公開出願番号):特開平10-340655
出願日: 1997年06月06日
公開日(公表日): 1998年12月22日
要約:
【要約】【課題】 電極を開極状態に保ったまま各種作業を行うことが出来る開極保持具を有する真空バルブを得る。【解決手段】 可動電極棒51を開極状態にしたときガイド10の表面に接する可動電極棒51の側面位置に孔22を設ける。この孔22にピン11を挿入し、このピン11がガイドの表面に当ることによって開極状態を保つ。ピン11しかないので他の作業のじゃまにならず、ピン11を挿入して開極したままで真空バルブ20の検査・運搬などを行なうことが出来る。
請求項(抜粋):
真空容器内に固定した固定電極と、この固定電極と接離する可動電極と、この可動電極を保持している可動電極棒を案内するガイドとを備えた真空バルブにおいて、前記可動電極棒は前記可動電極を開極状態に保持するため、前記可動電極棒の側面に設けた孔と、この孔に挿入され前記ガイドに係止される挿抜自在のピンとからなる開極保持機構を有するものであることを特徴とする真空バルブ。
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平3-030225
  • 特開平3-030225

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