測長装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-136449
公開番号（公開出願番号）：特開平9-318321
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】アッベの誤差の影響を受けること無くステージの移動量を測長可能な測長装置を提供する。【解決手段】任意の方向に試料2を移動させるように、2次元方向に移動可能なX及びYステージ12,4と、これらステージの移動量を光学的に検出するX用及びY用リニアエンコーダ6,8と、これらリニアエンコーダによって検出されたX及びYステージの夫々の移動量に基づいて算出した校正値を用いて、Y用リニアエンコーダの検出データに電気的な校正を施す校正装置20とを備える。なお、基準位置に対するXステージの移動量をΔX、Yステージの移動量をΔY、Yステージの移動時の真直度をθとすると、校正値は、ΔY-(ΔX×sinθ)なる値を満足する。

請求項（抜粋）：

任意の方向に試料を移動させるように、2次元方向に移動可能なステージ手段と、このステージ手段の移動量を検出する測長手段と、前記測長手段によって検出された前記ステージ手段の移動量に基づいて算出した校正値を用いて、前記測長手段の検出データに電気的な校正を施す校正装置とを備えていることを特徴とする測長装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 , G01B 21/00 , G12B 5/00

FI (3件)：

G01B 11/00 F , G01B 21/00 A , G12B 5/00 T

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