特許

J-GLOBAL ID：200903099746020742

自由電子レーザ光装置の共振器長自動調整方法

発明者： 横山 稔 ,  河合 正之 ,  浜田 信治 ,  山崎 鉄夫 ,  山田 家和勝 ,  杉山 卓
出願人/特許権者： 川崎重工業株式会社 ,  工業技術院長
代理人 (2件)： 富田 幸春 ,  富田 幸春 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-132491
公開番号（公開出願番号）：特開平6-326421
出願日： 1993年05月11日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】自由電子レーザ発生装置の共振器長のアライメント自動調整を安価に、且つ、確実に容易に誰でも行えるようにする。【構成】自由電子レーザ発生装置1のアンジュレータ(ウイグラー)7の両側に設けた共振器ミラー8の真空式反射ミラーマニピュレータ9,9を進退駆動制御装置11に接続させ、共振光を光反射ミラー12、及び、レンズ13を介して入力し、モニタリング装置14の良周波数特性の高速対応フォトダイオードと高速オシロスコープによって測定しコンピュータ15に入力し、その得られた光特性の測定解析データのパラメータを予め入力してある基準光のデータと比較演算し、その差分を駆動装置11に入力して真空式反射ミラーマニピュレータ9を所定に進退動させて数10μm程度のアライメントの調整を行うことが出来るようにする。

請求項（抜粋）：

自由電子レーザ光を発生する装置の共振光をモニタリングしてそのデータにより自動的に調整する方法において、得られた共振光をモニタリングしながらその出力特性の測定解析の結果データのパラメータをコンピュータにより基準データと比較演算し、反射ミラーをその駆動装置の制御を介して進退動させるようにすることを特徴とする自由電子レーザ光装置の共振器長自動調整方法。

IPC (2件)：

H01S 3/30 ,  H01S 3/086

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭63-224287
  
• 特開平3-060178
  
• 特開昭62-160782
  
• 特開平4-120780
  
• 特開平3-041324