特許
J-GLOBAL ID：200903099746253011
走査型顕微鏡用金属探針の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-197621
公開番号（公開出願番号）：特開平9-043256
出願日： 1995年08月02日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：
【要約】【課題】 本発明の課題は、探針の素材を取扱い易い電解液を用いて非常に簡易な方法で電解し、所望の先端形状有し、かつ、所望の長さを有するよう製造することである。【解決手段】 導電体からなる探針用素材の一端側を電解液中に浸して電解研磨することで前記素材の一端を尖鋭化する走査型顕微鏡用金属探針の製造方法において、その探針用素材1と電解液2中との間に、電流値を検出し、かつ所定の第1電圧を印加する第1研磨工程を行い、更に探針用素材1と電解液2中との間の電流値を検出し、かつ前記第1電圧よりも小さい第2電圧を印加する第2研磨工程を行うことで所望の先端形状を得る。
請求項（抜粋）：
導電体からなる探針用素材の一端側を電解液中に浸して電解研磨することで前記素材の一端を尖鋭化する走査型顕微鏡用金属探針の製造方法において、前記探針用素材と電解液中との間に、電流値を検出し、かつ所定の第1電圧を印加する第1研磨工程を行い、更に前記探針用素材と電解液中との間の電流値を検出し、かつ前記第1電圧よりも小さい第2電圧を印加する第2研磨工程を行うことで所望の先端形状を得ることを特徴とする走査型顕微鏡用探針の製造方法。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, H01J 37/28
G01N 37/00 C
, G01B 7/34 Z
, H01J 37/28 Z
