特許

J-GLOBAL ID：200903099751250918

半導体装置及びその製造方法

発明者： 赤 坂 泰 志
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (5件)： 吉武 賢次 ,  橘谷 英俊 ,  佐藤 泰和 ,  吉元 弘 ,  川崎 康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-088137
公開番号（公開出願番号）：特開2007-266230
出願日： 2006年03月28日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：

【課題】本発明は、ゲート絶縁膜の膜厚が増加することを抑制することができる半導体装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】半導体基板10上に絶縁膜20を形成するステップと、絶縁膜上に第1の金属膜30を形成するステップと、第1の金属膜の上方に、酸素分子1モルあたりの金属酸化物を生成する際の生成エネルギーが負であって、かつ生成エネルギーの絶対値が第1の金属膜より大きい第2の金属膜50を形成するステップと、第1及び第2の金属膜にパターニングを行うステップと、所定の熱処理を行うステップとを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

半導体基板上に絶縁膜を形成するステップと、 前記絶縁膜上に第1の金属膜を形成するステップと、 前記第1の金属膜の上方に、酸素分子1モルあたりの金属酸化物を生成する際の生成エネルギーが負であって、かつ前記生成エネルギーの絶対値が前記第1の金属膜より大きい第2の金属膜を形成するステップと、 前記第1及び第2の金属膜にパターニングを行うステップと、 所定の熱処理を行うステップと を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。

IPC (6件)：

H01L 21/28 ,  H01L 21/320 ,  H01L 23/52 ,  H01L 29/78 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49

FI (4件)：

H01L21/28 301R ,  H01L21/88 R ,  H01L29/78 301G ,  H01L29/58 G

Fターム (102件)：

4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB06 ,  4M104BB07 ,  4M104BB13 ,  4M104BB16 ,  4M104BB18 ,  4M104BB20 ,  4M104BB21 ,  4M104BB22 ,  4M104BB25 ,  4M104BB27 ,  4M104BB28 ,  4M104BB29 ,  4M104BB30 ,  4M104BB36 ,  4M104CC05 ,  4M104DD04 ,  4M104DD78 ,  4M104DD81 ,  4M104DD91 ,  4M104EE03 ,  4M104EE05 ,  4M104EE09 ,  4M104EE12 ,  4M104EE14 ,  4M104EE16 ,  4M104EE17 ,  4M104FF13 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH20 ,  5F033HH07 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH13 ,  5F033HH15 ,  5F033HH17 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH20 ,  5F033HH21 ,  5F033HH30 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033HH34 ,  5F033MM08 ,  5F033MM15 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ58 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ82 ,  5F033QQ83 ,  5F033RR03 ,  5F033RR04 ,  5F033RR05 ,  5F033RR06 ,  5F033RR07 ,  5F033TT02 ,  5F033TT08 ,  5F033VV06 ,  5F140AA24 ,  5F140AA39 ,  5F140AB03 ,  5F140AB09 ,  5F140AC01 ,  5F140BD01 ,  5F140BD04 ,  5F140BD07 ,  5F140BD11 ,  5F140BD13 ,  5F140BE08 ,  5F140BE09 ,  5F140BE16 ,  5F140BF05 ,  5F140BF07 ,  5F140BF08 ,  5F140BF10 ,  5F140BF17 ,  5F140BF22 ,  5F140BF27 ,  5F140BF30 ,  5F140BG08 ,  5F140BG09 ,  5F140BG12 ,  5F140BG14 ,  5F140BG20 ,  5F140BG22 ,  5F140BG37 ,  5F140BG39 ,  5F140BG51 ,  5F140BG53 ,  5F140BH14 ,  5F140BH33 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ08 ,  5F140BK13 ,  5F140BK20 ,  5F140BK21